国家知识产权局信息显示，无锡先为科技有限公司申请一项名为“一种供气系统、供气方法及半导体处理设备”的专利，公开号CN121782521A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种供气系统、供气方法及半导体处理设备，供气系统包括：气体输入管路，用于将源气输送到反应腔内；排气管路；气体流量控制组件，设于气体输入管路中；气体输入管路至少包括一个第一输送管路及一个输送支路，第一输送管路连接反应腔，第一输送管路设有第一控制阀，输送支路一端接入第一输送管路并位于第一控制阀的上游，另一端接入排气管路，输送支路设有第二控制阀；控制器，用于控制第一控制阀及第二控制阀的通断，控制器至少包括第一指令，第一指令配置为在控制气流通路从输送支路切换到第一输送管路时，控制第一输送管路和输送支路进行通/闭状态切换，并且控制输送支路的通/闭状态切换晚于第一输送管路的通/闭状态切换。

天眼查资料显示，无锡先为科技有限公司，成立于2020年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本11766.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡先为科技有限公司参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息41条，专利信息85条，此外企业还拥有行政许可7个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。